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廣州踏實(shí)半導(dǎo)體化工熱解析方案

2023-04-17 15:55:25 HJX

廣州踏實(shí)半導(dǎo)體化工熱解析方案

半導(dǎo)體,化工材料制造檢測(cè)中也多用到熱解析儀設(shè)備
案列:丙烯酸膠帶用于半導(dǎo)體制造工藝中。對(duì)在半導(dǎo)體制造中使用的丙烯酸類(lèi)膠帶,通過(guò)釋放氣體分析(EGA)- MS和TD-GC/MS分析加熱過(guò)程中有惡臭味的瑕疵品和良品,并分析瑕疵品中產(chǎn)生氣味的原因。
在半導(dǎo)體器件和化學(xué)品制造的分析中,痕量元素雜質(zhì)的控制對(duì)于性能具有至關(guān)重要的作用,甚至影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率。
半導(dǎo)體制造商需要在整個(gè)制造過(guò)程中擁有檢測(cè)超痕量污染物的能力,包括晶圓、超純水、化學(xué)試劑、光刻膠、電子特氣、封裝材料等。
半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步,對(duì)元素雜質(zhì)和微粒污染物檢測(cè)能力提出了更高的要求。
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的有機(jī)化合物的純度雜質(zhì)影響到相關(guān)產(chǎn)品的質(zhì)量。
半導(dǎo)體行業(yè)使用的有機(jī)試劑也會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的揮發(fā)性有機(jī)物,對(duì)生產(chǎn)和環(huán)境造成污染,包括AMC、VOCs等。珀金埃爾默公司熱解析儀與氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用,可實(shí)現(xiàn)潔凈室或生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)空氣的在線(xiàn)或離線(xiàn)采集進(jìn)樣,并檢測(cè)出低濃度(<ppb)的有機(jī)污染物。


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熱解吸儀GBT 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測(cè)定硅片表面的有機(jī)污染物.pdf


熱解吸儀GBT 33871-2017 墨粉中總揮發(fā)性有機(jī)化合物(TVOC)、苯和苯乙烯的測(cè)定 熱脫附-氣相色譜法.pdf


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